关键词：浮分子泵

　　磁悬浮分子泵国产化及系列化一直是国内面临的难题。近日，天津飞旋科技研发有限公司研发出拥有自主知识产权的两款磁悬浮分子泵，经技术鉴定被认定为国际先进。这在填补了国内在该领域空白的同时，也为产业化奠定了坚实基础。

　　磁悬浮分子泵应用范围广泛。据天津飞旋科技研发有限公司副总经理蒋颖介绍，在半导体生产线、真空镀膜生产线、高档汽车后视镜镀膜生产线等领域都有着广阔的市场前景。

　　由于磁悬浮轴承技术具有无摩擦、高效率、高精度、长寿命、低噪音、无油污等突出优点，一旦实现产业化，将成为能源、节能减排、真空机械等重大战略领域的核心技术。不过，由于国内磁悬浮轴承技术起步较晚，将磁轴承技术应用到实际工业产品中仍存在一系列难题。

　　蒋颖表示，正是意识到这一问题后，位于天津开发区的天津飞旋科技研发有限公司以此为科技攻关点，经过多年的不懈努力，磁悬浮轴承技术研究取得突破。特别是针对复合分子泵的工作原理，研发出了适合复合分子泵用的磁悬浮高速电机，最后将两者结合起来，成功研发出国内首台磁悬浮复合分子泵，并探索实现了产业化。

　　针对这一科技创新成果，天津市高新技术成果转化中心出具的鉴定结论认为，该成果在磁悬浮分子泵领域彻底打破国外的技术垄断，提高了国内真空分子泵的技术水平，推动分子泵产品向高端应用发展，同时也为磁悬浮轴承的工业化进展开拓探索一条技术开发路线，为进一步推广磁悬浮轴承大规模应用提供了实际经验。

　　为支持该技术的产业化，去年以来，飞旋科技获得了天津市科委科技支撑计划２００万元的支持。同时，公司所在地天津开发区通过项目配套、研发费扶持、厂房建设及电力增容扶持等多种方式也给予支持。到目前，飞旋科技已生产真空分子泵５０台，总产值近１５００万元。更大规模的磁悬浮轴承技术应用也已纳入计划中。