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真空检漏方法有哪些?
来源: 点击:94185    发布日期:2022/7/1
 

 真空检漏方法有如下几种:

 
  1、氦质谱检漏
 
  该技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在检漏中得到了广泛应用。
 
  2、真空封泥检测法
 
  将真空泥逐个封住可疑漏点,注意观察真空度的变化,假如贴上真空封泥真空度提升很快,取掉有明显下降,说明这是一个漏点。这种方法在实际应用中,采用的比较少。
 
  3、真空计检漏法
 
  选用适当的气体或液体做示漏物质,这些真空计便成了探测器,一般镀膜机上都有真空计,使用起来很方便,也是常用到的一种检漏方法。
 
  4、高频火花检漏
 
  这种方法仅适用于玻璃真空系统。先将系统抽成真空,高频火花检漏仪的火花端沿着玻璃表面移动,火花集中成束形成亮点处即是漏孔位置。
 
  选择检漏方法的原则:
 
  1、主要根据被检漏设备的允许漏率为依据,由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合,为找到一个单个漏孔,所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1~2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W,而必须选用的检漏灵敏度为10-12~10-13W;
 
  2、根据具体被检对象,所用方法简便易行、经济实用。
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