我国第一个国产磁轴承产品——“基于交叉反馈控制的FS450型分子泵磁轴承”，近日在浙江飞旋科技有限公司研发成功。该产品在分子泵应用领域打破了国外的技术垄断，使我国成为继法国、美国、加拿大、德国等少数发达国家之后拥有自主知识产权的磁轴承技术产品的国家。
磁轴承是继油润滑、气润滑之后轴承行业又一次革命性变化，为传统产业增加了高科技产品。这种精密的机电一体化产品，除了在真空分子泵中应用外，还在军工、航天航空、石油石化、能源等领域有着广阔的前景。
由浙江飞旋科技有限公司总经理洪申平为项目负责人的研发团队，在国内率先研发成功了适用于集成电路装备应用的分子泵磁轴承。他们在国内首次将一种５自由度控制的磁悬浮轴承用于分子泵，并采用交叉反馈的控制技术，解决了挠性转子在高转速下的陀螺效应问题，提高了转子的稳定性；采用了本机动平衡技术，有效地降低了转子的振动。 |