1、氦质谱检漏

 

　　该技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在检漏中得到了广泛应用。

 

　　2、真空封泥检测法

 

　　将真空泥逐个封住可疑漏点，注意观察真空度的变化，假如贴上真空封泥真空度提升很快，取掉有明显下降，说明这是一个漏点。这种方法在实际应用中，采用的比较少。

 

　　3、真空计检漏法

 

　　选用适当的气体或液体做示漏物质，这些真空计便成了探测器，一般镀膜机上都有真空计，使用起来很方便，也是常用到的一种检漏方法。

 

　　4、高频火花检漏

 

　　这种方法仅适用于玻璃真空系统。先将系统抽成真空，高频火花检漏仪的火花端沿着玻璃表面移动，火花集中成束形成亮点处即是漏孔位置。

 

　　选择检漏方法的原则：

 

　　1、主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1～2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W，而必须选用的检漏灵敏度为10-12～10-13W；

 

　　2、根据具体被检对象，所用方法简便易行、经济实用。